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本站音问，凭证企查查数据裸露中微公司（688012）新得回一项实用新式专利授权，专利名为“一种气相千里积建设过甚基片承托安装”，专利肯求号为CN202322238340.5，授权日为2024年4月5日。
专利选录：一种气相千里积建设过甚基片承托安装，基片承托安装包含一底座和位于底座上的基片承托环，底座包含用于承托基片的顶板和建树在顶板下方的套筒，基片承托环用于承托基片的边际区域并收场基片的取放。本实用新式接受基片承托环看成可移动部件来收场基片的取放，缩小了机械手的负分量，蔓延了机械手的使用寿命。通过底座将基片承托环的底部和侧面十足包裹的神志，减少了基片承托环表里侧之间的温度差，普及了基片承托环的温度均匀性，裁减了基片承托环间隙或变形的风险。底座上的顶板看成固定部件，长久与套筒保握踏实宣战，股票配资杠杆平台退避顶板在随套筒旋转的经过中发生错位和震动，裁减了基片在旋转经过中发生震动的风险，最终提高了基片的温度均匀性。
本年以来中微公司新得回专利授权38个，较前年同时减少了28.3%。麇集公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面进入了8.17亿元，同比增34.91%。
数据源泉：企查查
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